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详细介绍
PICOSUN™P-1000系统专门对于3D结构物体 进行批量涂层加工，例如： 机械零件、玻璃或金属片、硬币、珠宝以及医疗植入器械。主要的应用包括制备各种各样的钝化层和阻挡 层， 显著提高器件的性能和寿命。巧妙、创新 的设计使得PICOSUN™ P-1000 ALD系统在具 有制备高均一性的高质量ALD薄膜的同时能 够有很高的产量， 并且是市场上保养、维护时 间低，购置成本最小的ALD系统。这些都已 经在实际生产中得到证实。
可靠、快速且易于维护的PICOSUN™ P-1000 ALD系统代表了工业化ALD工艺水平！
PICOSUN™P-1000衬底尺寸和类型
• 大小不等的3D结构物件（例如： 机械零件、 玻 璃或金属片、 硬币、 珠宝以及医疗植入物等）
工艺温度
• 50 – 400°C
标准工艺
• Al2O3, ZnO, TiO2
基片装载
• 通过装载工具进行手动装载（例如： 叉车）
前驱体
• 液态、固态、气态、臭氧源
• 源瓶余量传感器，提供清洗和装源服务
• 6根独立源管线， 最多加载10个前驱体源
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