Park NX-Wafer

简要描述：Park NX-Wafer为在线晶圆厂计量提供高生产率和强大特性
高吞吐量晶圆厂检测和分析
沟设槽备宽前度端、模深块度（E和F角EM度）测用量于的自自动动晶数圆据传采送集和分析

产品咨询联系我们

产品分类

Product Category

详细介绍

Park NX-Wafer为在线晶圆厂计量提供高生产率和强大特性

高吞吐量晶圆厂检测和分析

Park NX-Wafer沟设槽备宽前度端、模深块度（E和F角EM度）测用量于的自自动动晶数圆据传采送集和分析。

精确的亚埃级表面粗糙度控制

真界实最非低接噪触音模低式至使0得.5参A数rm相S关·遍结布果整具个有晶免圆疫区性域保比持其探他针AF针M有尖1的0锐倍度-20以倍达的到更表长面的粗探糙针度寿精命度。

全自动化高吞吐量缺陷成像

直通特接过定连更接强到的缺视自陷觉动映来放射进大检行AF测自M扫动设描坐备而标不转需换要和进缺陷行移映射动校平台正的校准。

产品咨询

联系方式

邮箱：yuq@leiruitech.com.cn

地址：上海市闵行区甬虹路69号虹桥绿谷G栋4楼4111

咨询热线

（周一至周日9:00- 19:00）

在线咨询