TESCAN VEGA COMPACT

TESCAN VEGA COMPACT 是 TESCAN 第四 代扫描电镜中的一员，是一款微型鸨灯丝扫描电子 显微镜，为满足实验室基本分析需求，优化了成像 和成分分析功能，简化了配置，是一款的 入门级高效分析型扫描电镜。

       TESCAN VEGA COMPACT升级使用了全新 的Essence™专用电镜软件，在单个窗口中就可以 实现SEM成像和实时元素分析，更大程度简化了从 样品上获取形貌和元素数据的过程，使得 VEGA COMPACT能够更快速有效地完成大量样品 的基础检测，使之成为经济高效的多功能分析工具。

       四透镜设计

       Wide Field Optics™设计，可提供多种工作模 式和显示模式；专有的中间镜(IML),采用电磁 的方式改变物镜光阑一一中间镜的作用如同连续可 调的光阑，无需任何机械对中的镜筒设计，使光路 合轴和校准*自动化；中间镜带来的实时电子束 追踪技术(In-Flight Beam Tracing™),可模拟和 优化电子束的束斑、束流；3D电子束技术(3D Beam Technology)可获得实时立体成像。

 • SE 分辨率：3 nm @ 30 kV

 •  8 nm @ 3 kV

•  强大的低倍性能，为样品的全景观察和定位 提供了便利

•  新颖的EssenceTM操作软件，操作者可以依 照喜好自定义界面，方便直观

•  新颖的EssenceTM三维演示功能，保证了样 品运动时样品室内探测器的安全

•  *集成的Essence™ EDS功能，可以快 速，轻松地从成像切换到元素分析操作

1. 样品全貌的大视野图像

2. 样品局部图像

3. SE高分辨图像

4. BSE高分辨图像