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TESCAN SOLARIS

简要描述:TESCAN SOLARIS是一款镣离子源的FIB-SEM 系统,适用于超薄TEM样品制备和其他具有挑战 性的纳米加工任务。
SOLARIS配备Triglav™型SEM鏡筒,具有 超高的分辨率和优异的图像衬度和表面灵敏度。

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  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2022-11-16
  • 访  问  量:758

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详细介绍

TESCAN SOLARIS是一款镣离子源的FIB-SEM 系统,适用于超薄TEM样品制备和其他具有挑战 性的纳米加工任务。

SOLARIS配备Triglav™型SEM鏡筒,具有 超高的分辨率和优异的图像衬度和表面灵敏度。

TESCAN SOLARIS 还配备了 Orage™ 型 FIB 鏡筒,保证了出色的低电压离子束分辨率和微加工 性能,能够制备小于20nm最佳质量的半导体器件 超薄TEM样品。此外,高达100 nA的离子束流可 以对样品进行位置的、大体积F旧-SEM逐层 扫描,图像也具有出色的衬度。


新型Orag叶铢离子FIB镜筒

创新的OrageTM稼离子FIB镜筒配有先进的 离子光学系统,束流最大可提升至100 nA,扩展的 离子束能,范围及优异的低电压性能,有助于在 TEM制样的最后环节消除非晶层。

OrageTM F旧镜筒中的压电驱动光阑变换器, 具有超高速度和可重复性--配置30个光阑,适用 性更强,且维护间隔长;离子枪压电对中技 术使得在所有F旧设置条件下都能保证优的镜筒 对中。


•  SEM 分辨率:0.6nm@15kV

•  F旧分辨率:<2.5nm@30kV

•  可选择性釆集能量过滤后的电子信号,获得 更好的表面灵敏度和衬度

•  离子束流变化范围大,满足不同精度、体积 要求的样品加工任务

•  F旧的低电压可达500 V,能够制备小于 20 nm且具有高品质的超薄TEM样品

•  FIB-SEM层析成像的同时,可获得EDS和 EBSD数据,快速进行3D超微结构研究和 微量分析表征

1.10nm制程IC截面的TEM图像,线宽小于10nm。

2.10 nm制程芯片,研磨去层后成像。

3.哺乳动物细胞的3D超微结构重建,体积约为6x8x6卩m3。

4.锂电池中锂元素的面分布,采用TOF-SIMS联用技术分析。


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