TESCAN SOLARIS

TESCAN SOLARIS是一款镣离子源的FIB-SEM 系统，适用于超薄TEM样品制备和其他具有挑战 性的纳米加工任务。

SOLARIS配备Triglav™型SEM鏡筒，具有 超高的分辨率和优异的图像衬度和表面灵敏度。

TESCAN SOLARIS 还配备了 Orage™ 型 FIB 鏡筒，保证了出色的低电压离子束分辨率和微加工 性能，能够制备小于20nm最佳质量的半导体器件 超薄TEM样品。此外，高达100 nA的离子束流可 以对样品进行位置的、大体积F旧-SEM逐层 扫描，图像也具有出色的衬度。

新型Orag叶铢离子FIB镜筒

创新的OrageTM稼离子FIB镜筒配有先进的 离子光学系统，束流最大可提升至100 nA,扩展的 离子束能,范围及优异的低电压性能，有助于在 TEM制样的最后环节消除非晶层。

OrageTM F旧镜筒中的压电驱动光阑变换器， 具有超高速度和可重复性--配置30个光阑，适用 性更强，且维护间隔长；离子枪压电对中技 术使得在所有F旧设置条件下都能保证优的镜筒 对中。

•  SEM 分辨率：0.6nm@15kV

•  F旧分辨率：＜2.5nm@30kV

•  可选择性釆集能量过滤后的电子信号，获得 更好的表面灵敏度和衬度

•  离子束流变化范围大，满足不同精度、体积 要求的样品加工任务

•  F旧的低电压可达500 V,能够制备小于 20 nm且具有高品质的超薄TEM样品

•  FIB-SEM层析成像的同时，可获得EDS和 EBSD数据，快速进行3D超微结构研究和 微量分析表征

1.10nm制程IC截面的TEM图像，线宽小于10nm。

2.10 nm制程芯片,研磨去层后成像。

3.哺乳动物细胞的3D超微结构重建，体积约为6x8x6卩m3。

4.锂电池中锂元素的面分布，采用TOF-SIMS联用技术分析。