通用型原子力显微镜

Park XE 15通用型原子力显微镜通过多重采样™ 扫描进行便捷样品测量

无轴间耦合提高扫描精度

N o n - C o n t a c t ™ （真正非接触™ ）模式延长

针尖使用寿命、改善样品保存及精度

提供最佳用户体验

选项/ 模式多样化
 

Park XE 15通用型原子力显微镜有适合大众化的各种扫描模 式 ，能 满足您的 所 有 研 究 需求：

1. 表 面 粗 糙 度 测 量

2. 电 性 能

3. 机 械 性 能

4. 热 性 能

5. 磁 性 能

在半导体产业发展如火如荼的今天，上海磊微伴随着行业不断学习、积极提升自身水平， 为越来越多的客户提供了专业的产品和服务。今后，磊微将以不断培育的市场为依托，以先进优质产品为核心，以高效运作的团队为基础，迎来更快更好的发展。我们一直秉承团结创新、严谨奋进的企业精神，秉承诚信务实、互利多赢的经营理念，努力为客户、为社会提供高品质产品和服务。

　　一、概述

　　通用型原子力显微镜（AFM）是扫描探针显微技术的一种，它是通过探针和样品表面之间的相互作用来测量表面形貌和性质的。其将图像转化为高度图，能够对各种样品的表面形貌、硬度、弹性、电磁性等进行表征，具有成像分辨率高、精度高、非接触式成像等优点。目前AFM已成为材料科学、生物医学、电子学等领域中常用的表面分析工具之一。

　　目前AFM的研究方向主要包括开发新型探针、显微镜结构的改进、数据处理算法的创新等，其应用领域也在不断扩展。本文将从AFM的原理、探针、成像模式、显微镜结构、应用领域等几个方面进行介绍。

　　二、原理

　　AFM最基本的原理是通过探针和样品表面之间的相互作用来测量表面形貌和性质。探针位于样品表面上方，探针控制器通过样品反馈来控制探针间距，从而实现在样品表面扫描的过程。扫描时探针与样品之间存在静电相互作用力、范德华力、化学作用力、磁作用力等，这些力的变化将反映在探针的运动以及探针位置的改变上，并且可以转换成电信号。

　　AFM会将探针与样品表面的相对位置转化成电信号，由此就能得到在样品表面各点的高度信息。在扫描之后的数据处理中，AFM可以对原始数据进行平滑和滤波，得到高质量的表面形貌和力学性质图像。通过扫描不同区域，可以得到样品表面的全貌。

　　三、探针

　　AFM的探针是其成像的核心，它有很多种，具体有硅探针、钻石探针、金刚石探针、碳纳米管探针等。探针的选择取决于不同应用领域对分辨率、灵敏度、硬度、使用寿命等方面的要求。

　　目前AFM领域常用的硅探针主要分为单晶硅和多晶硅两种。它们的区别在于硅晶体的结构不同，从而也会对热膨胀系数、硬度、刚性等产生影响。单晶硅探针的刚性和灵敏度更高，但制造成本较高；多晶硅则反之。因此，在实际使用中，根据需要进行选择。