技术文章－上海磊微科学仪器有限公司

原子层沉积系统是这样操作的，你知道了吗？ 2023-03-10

原子层沉积系统是一种用于在物质表面逐层沉积原子或分子的设备。该系统通常使用化学气相沉积(CVD)或物理气相沉积(PVD)等技术，可以实现精确的单层或多层薄膜沉积，可应用于纳米电子、生物医学、能源储存等领域。原子层沉积系统具有高度的自动化程度，能够对一系列工艺参数进行实时监测和控制，从而保证了沉积薄膜的质量和稳定性。1.准备基板：将待沉积的基板进行表面清洁和处理，使其表面干净、平滑，并且具有一定的亲水性或亲油性，以利于原子或分子的吸附。2.安装基板：将清洁后的基板放入原子层沉积... 查看更多
原子层沉积系统的工艺和薄膜特性 2023-02-10

原子层沉积系统是一种可以将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法，是通过将气相前驱体脉冲交替地通入反应器并在沉积基体上化学吸附并反应而形成沉积膜的一种方法（技术）。当前驱体达到沉积基体表面，它们会在其表面化学吸附并发生表面反应。好的附着力：前驱体与基底材料的化学吸附保证了好的附着力。饱和吸附特性：表面反应的自限制性使工艺的自动化成为可能，同时不需要精确的剂量控制和操作人员的持续介入。有序反应：薄膜的数字化的有序生长过程提供了在没有原位反馈或是操作人员的干预的条件下高薄... 查看更多
扫描电镜SEM的技术参数介绍 2023-02-07

扫描电镜SEM主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态，即用极狭窄的电子束去扫描样品，通过电子束与样品的相互作用产生各种效应，其中主要是样品的二次电子发射。二次电子能够产生样品表面放大的形貌像，这个像是在样品被扫描时按时序建立起来的，即使用逐点成像的方法获得放大像。1、分辨率SEM的分辨率主要受到电子束直径的限制，这里电子束直径指的是聚焦后扫描在样品上的照射点的尺寸。对同样品距的二个颗粒，电子束直径越小，越得到好的分辨效果，电子束直径越小，信噪比越小。2、放大倍数在显像... 查看更多
原子力显微镜探针的主要种类你了解几个 2023-02-05

原子力显微镜探针基本都是由MEMS技术加工Si或者Si3N4来制备。探针针尖半径一般为10到几十nm。微悬臂通常由一个一般100~500μm长和大约500nm~5μm厚的硅片或氮化硅片制成。典型的硅微悬臂大约100μm长、10μm宽、数微米厚。原子力显微镜的探针主要有以下几种：1、非接触/轻敲模式针尖以及接触模式探针：常用的产品，分辨率高，使用寿命一般。使用过程中探针不断磨损，分辨率很容易下降。主要应用与表面形貌观察。2、导电探针：通过对普通探针镀10... 查看更多
原子层沉积系统的基本表现形式 2022-12-18

原子层沉积系统是一种可以将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法。由于前驱体流量的随意性不会带来影响，所以在ALD原子层沉积中有序、自限制的表面反应将会带来非统计的沉积。这使得ALD原子层沉积膜保持高度的光滑、连续以及无孔的特性，可以提供薄膜性能。ALD原子层工艺也可以实现到大基片上。原子层沉积是通过将气相前驱体脉冲交替地通入反应器并在沉积基体上化学吸附并反应而形成沉积膜的一种方法(技术)。当前驱体达到沉积基体表面，它们会在其表面化学吸附并发生表面反应。在前驱体脉冲之... 查看更多
原子力显微镜的诸多优点 2022-11-26

原子力显微镜(AtomicForceMicroscope，简称AFM)利用微悬臂感受和放大悬臂上尖细探针与受测样品原子之间的作用力，从而达到检测的目的，具有原子级的分辨率。由于原子力显微镜既可以观察导体，也可以观察非导体，从而弥补了扫描隧道显微镜的不足。原子力显微镜其目的是为了使非导体也可以采用类似扫描探针显微镜(SPM)的观测方法。原子力显微镜(AFM)与扫描隧道显微镜(STM)最大的差别在于并非利用电子隧穿效应，而是检测原子之间的接触，原子键合，范德瓦耳斯力或卡西米尔效应... 查看更多

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